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高纯氯化氢应用及背景
 

 

氯化氢是氯工业中的重要部分。美国、欧洲、日本等地的氯化氢大多以副产氯化氢的形式产生,大多数的副产氯化氢循环回工艺系统中,并未进入市场。据统计,大约有40个多个工艺产生副产氯化氢并且有110个工艺以氯化氢为原料。但在我国,随着氯工业的迅速发展,特别是近十年来有机氯产品规模的迅速扩大,副产氯化氢总量逐年递增,当工艺系统不能完全回收利用时,副产氯化氢往往通入水中副产盐酸或者进一步精制制备高纯氯化氢,目前高纯氯化氢市场较好,但盐酸市场供大于求,而副产盐酸又是一种廉价方式,所以个别企业在销售副产氯化氢或者盐酸成为负担时便会牺牲环境换取企业利益,显然此方式已不合时宜;

同时,钢铁、电镀和钢铁结构件的酸洗过程,化学制药、稀土生产过程中会排放大量的低浓度废盐酸,废液一般经中和的方式处理后排放,不仅处理费用高,还浪费了资源,带来了二次污染,不利于环境的保护和资源能源的可持续发展,因此有必要对生产过程中产生的废盐酸进行回收利用。

高纯氯化氢是集成电路生产中硅片蚀刻、钝化、外延、气相抛光、吸杂和洁净处理等工艺的重要材料,也可用于金属冶炼,光导通讯和科学研究等领域。随着大规模集成电路的发展,对氯化氢纯度的要求越来越高,除了应具有99.999%以上的纯度,对其中杂质的含量要求越来越苛刻,尤其要求严格限制碳氢化合物和碳氧化合物的含量,以防止硅片加工过程中C的形成。过去我国大多从美、日等国进口电子级氯化氢,但近年来,我国电子工业所需的化学气体的研制,在技术上已有不少突破和发展。国内也有单位已成功开发出相关的电子级氯化氢产品,但还远不能满足市场需求。